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    CGO高低溫真空探針臺
    • CGO高低溫真空探針臺

    CGO高低溫真空探針臺

    CGO系列高低溫真空探針臺可滿足6 英寸樣品測試,高真空結構可避免低溫結霜、高溫氧化等情況,保證測試準確性??捎糜诰A測試、 LED 測試、功率器件測試、光電測試、場晶體效應管測試等不同產品和應用場景,亦可升級做射頻測試。

    CGO系列高低溫真空探針臺

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    ?產品介紹

    高低溫真空探針臺.png

    ?1.1 功能介紹

    CGO系列高低溫真空探針臺可滿足6?英寸樣品測試,高真空結構可避免低溫結霜、高溫氧化等情況,保證測試準確性??捎糜诰A測試、?LED?測試、功率器件測試、光電測試、場晶體效應管測試等不同產品和應用場景,亦可升級做射頻測試。

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    1.2 技術參數

    型號

    基本參數

    CGO-2CGO-4CGO-6
    腔體樣品臺尺寸

    2英寸

    4英寸

    6英寸

    樣品固定

    彈簧壓片

    觀察窗口

    2英寸

    4英寸

    6英寸

    真空度

    10-5torr

    探針臂接口

    最多4個探針臂接口

    最多6個探針臂接口

    其他接口

    電信接口、真空接口、光纖接口、冷源接口

    溫控系統

    制冷方式

    液氮/液氣/制冷機

    溫度范圍

    77K?到?573K/4.5K?到?573K

    溫控精度

    0.1K/0.01K/0.001K

    穩定性

    ±1K/±0.1K/±0.01K

    顯微鏡

    顯微鏡類型

    單筒顯微鏡/體式顯微鏡/金相顯微鏡

    放大倍率

    16X-200X/20X-4000X

    移動行程

    水平360度旋轉,Z軸行程50.8mm

    光源

    外置LED環形光源/同軸光源

    CCD

    200萬像素/500萬像素/1200萬像素

    探針臂

    X-Y-Z移動行程

    50mm*50mm*50mm

    結構

    外置探針臂,真空波紋管結構

    移動精度

    10微米/I微米

    探針夾具

    線纜

    同軸線/三軸線/射頻線

    漏電精度

    10pA/100fA/10fA

    固定探針

    彈簧固定/管狀固定

    接頭類型

    BNC/三軸/香蕉頭/鱷魚夾/接線端子

    探針

    頻率支持

    DC-110GHz

    針尖直徑

    0.2微米/I微米/2微米/5微米/10微米/20微米

    材質

    鎢鋼/鈹銅

    真空組件

    分子泵組/機械泵/離子泵

    冷源組件

    50L/100L液氮罐/液氮罐/制冷機

    外形

    880mm?長*880mm?寬*600mm?高

    980mm?長*980mm?寬*600mm?高

    重量

    約100千克

    約120千克

    可選附件

    超高溫配件

    屏蔽箱

    高壓測試配件

    顯示器

    光學平臺

    分子泵組

    轉接頭

    鍍金卡盤

    激光系統

    射頻測試配件

    光電測試配件

    氣敏測試配件

    根據客戶要求定制


    應用案例:

    北京師范大學CGO探針臺.png華為OCG高低溫探針臺.png
    中國石油大學CGO高低溫真空探針臺.png西南交通大學OCG高低溫真空探針臺.png南方科技大學OCG高低溫真空探針臺.png


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